產(chǎn)品名稱：日本電子-IT200A掃描電鏡
產(chǎn)品型號(hào)：IT200A
更新時(shí)間：2020-03-28
產(chǎn)品特點(diǎn)：日本電子-IT200A掃描電鏡經(jīng)過(guò)改進(jìn)照射系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和信號(hào)處理系統(tǒng)，不僅能觀察高質(zhì)量的圖像，還能利用觸控屏和快速樣品臺(tái)進(jìn)行高通量的直觀操作。
產(chǎn)品詳細(xì)資料：
日本電子-IT200A掃描電鏡
主要特長(zhǎng)
電子光學(xué)系統(tǒng)
是日本電子株式會(huì)社升級(jí)版機(jī)型，集合了分析掃描電鏡精髓功能，結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié) 省空間，分辨率高。
操作舒適快捷
擁有非常直觀的操作系統(tǒng)，即使沒(méi)有經(jīng)驗(yàn)的用戶也可進(jìn)行操作高品質(zhì)的SEM圖像，以及高效率元素分析。可支持操作觸摸屏。
安裝的靈活性 節(jié)省空間，安裝方便。一個(gè)電源插座就足以安裝。不需要任何冷卻水。
JSM-IT200A性能參數(shù)
Main Performance on JSM-IT200A
圖像模式 |
二次電子圖像
REF像
成份像 (背散射電子圖像)
形貌像 (背散射電子圖像)
立體像 (背散射電子圖像) |
實(shí)時(shí)圖像顯示 |
雙實(shí)時(shí)圖像同時(shí)顯示, 分割實(shí)時(shí)圖像顯示 |
加速電壓 | 0.5KV ~ 30KV |
探針束流 | 1pA ~ 0.3uA |
(二) 電子光學(xué)系統(tǒng) |
|
燈絲 |
工廠預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
電子槍偏壓 |
無(wú)縫式自給偏壓, 連續(xù)調(diào)整 |
電子槍合軸 |
自動(dòng)合軸 |
燈絲加熱 |
自動(dòng)加熱 |
聚光透鏡 |
變焦聚光透鏡系統(tǒng) – 技術(shù) |
物鏡 |
超級(jí)錐形物鏡 |
物鏡光闌 |
1孔固定，可在X和Y方向微調(diào) |
聚焦 |
自動(dòng)/手動(dòng)聚焦 |
像散 |
自動(dòng)/手動(dòng)消像散 |
像散存儲(chǔ)器 |
標(biāo)準(zhǔn)配置，自動(dòng)/手動(dòng)補(bǔ)償像散 |
圖像移動(dòng) | X-Y , ±50um |
(三) 樣品臺(tái) |
|
樣品臺(tái)類型 |
全對(duì)中樣品臺(tái) |
行程
| X : 80mm; Y : 40mm; Z : 5 ~ 48mm; 傾斜 T: -10 ~ +90° 旋轉(zhuǎn) R: 360°連續(xù)endless |
zui大樣品尺寸 |
可裝直徑150mm高度為48mm的樣品 |
zui大觀察視野 |
直徑127mm |
(四) 圖形顯示 |
|
顯示像素 | 640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840 |
圖像處理 |
平均值, 灰度修正, 反差增強(qiáng), 偽彩, 二及四分屏, 2及4倍數(shù)碼變焦 |
文件存儲(chǔ)格式 |
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(五) 操作系統(tǒng) |
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計(jì)算機(jī) | OS : Windows 10 (英語(yǔ)版) 觸摸屏式臺(tái)式電腦 |
(六) 測(cè)量功能 |
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平行線間距測(cè)量 |
垂直, 水平, 對(duì)角 |
2點(diǎn)之間距離測(cè)量 |
任意2點(diǎn)間距離 |
圓的測(cè)量 |
直徑
2個(gè)圓中心間距離(觸摸屏操作下不支持此功能) |
角度測(cè)量 |
角度 |
面積測(cè)量 |
圓和多角形 |
計(jì)數(shù) |
顆粒計(jì)數(shù) |
(七) 真空系統(tǒng) |
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真空度 |
高真空模式 1×10-4Pa |
抽真空時(shí)間 |
|
真空泵系統(tǒng) |
一個(gè)分子泵, 一個(gè)機(jī)械泵 |
(七) 安全裝置 |
斷電,斷水,泄壓,漏電保護(hù) |
(八) 自動(dòng)功能 |
自動(dòng)電子槍控制,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)消像散,自動(dòng)反差和亮度 |
(九) 擴(kuò)展接口 | EDS 能譜儀、Chamber Scope紅外相機(jī)、Probe Current Detector束流監(jiān)視器 |
(十)能譜儀主要性能 |
|
探測(cè)器 |
電制冷方式Box SDD 探測(cè)器 – 不用液氮 |
探頭有效掃描面積 | 25 mm2 |
探測(cè)器移動(dòng) |
固定 |
Resolution 分辨率 | 130eV or less (IC |
元素分析范圍 | Be(4) to U(92) 鈹 至 鈾 |
Window 窗口 | Atmosp 抗大氣壓的超薄窗 |
取出角 | 35°（WD：10mm） |
Cooling 制冷方法 | Peltier coo |
標(biāo)準(zhǔn)搭載功能 | 定性分析 定量分析 活區(qū)面分析 點(diǎn)分析 束流追蹤
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日本電子-IT200A掃描電鏡:一款更簡(jiǎn)潔、更易于使用且性價(jià)比高的掃描電子顯微鏡。
使用初學(xué)者易懂的樣品交換導(dǎo)航，可以輕松地從樣品臺(tái)搜索視野并開始觀察SEM圖像。Zeromag能像光鏡一樣直觀地搜索視野，Live Analysis*²可以不用特意分析就能實(shí)時(shí)獲取元素分析結(jié)果，SMILE VIEWTM Lab能綜合編輯觀察和分析報(bào)告等，使它成為一個(gè)分析業(yè)務(wù)的軟件。
立即觀察！立即分析！立即報(bào)告！
JEOL InTouchScope™系列*的三個(gè)功能使分析裝置成為一種工具。
■完成樣品交換的同時(shí)觀察開始 樣品交換導(dǎo)航
樣品交換導(dǎo)航是從打開樣品室到開始觀察過(guò)程中進(jìn)行導(dǎo)航的功能
■立即觀察！ Zeromag觀察
使用主窗口顯示的樣品臺(tái)示意圖和光學(xué) CCD 圖像 *¹ ，進(jìn)行視野搜尋和分析位置。
■立即分析！Live Analysis分析*²
通過(guò)顯示譜圖和顯示元素，能確認(rèn)正在觀察中的視野的譜圖及主要元素。
■立即報(bào)告！SMILE VIEWTM Lab 數(shù)據(jù)集中管理
按下數(shù)據(jù)管理圖標(biāo)并顯示數(shù)據(jù)管理窗口后，從SEM圖像到分析，對(duì)全部數(shù)據(jù)能創(chuàng)建批量報(bào)告 、查看數(shù)據(jù)并重新分析數(shù)據(jù)。
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